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学生のための用語解説

学生の皆さんがミラプロについてより深く理解していただくために、ミラプロの技術や製品に関する用語を説明します。

あ行

液圧成形

水圧を利用した成形方法。成形機で水圧をかけると、風船が膨らむように変形し、金属に波形がつくことを表します。

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か行

カスタマイズ品

お客様ご指定の仕様に合わせて、カタログに掲載されている標準の材質やサイズ以外で作られた製品。

ガラスビーズブラスト(Glass Beads Blasting) (GBB

金属疲労

金属に繰り返し力を加えることで、破断強度より小さい力でも金属が破壊すること。ミラプロでは、設計時に金属疲労を想定した設計を行っています。

クランプ(Clamp)

留め金、締め具のこと。真空配管の接続に用いられる真空配管部品の一種。

クリーン度

空気中に浮遊する粒子の数により規定され、空気の洗浄度を表します。 クリーン度の規格にはISOとFED(米国連邦規格)の2種類があり、現在はISO規格が世界標準規格となっています。

クリーンルーム(Clean room)

私たちが生活している環境では、ほこりをはじめとする沢山の粒子が存在しています。クリーンルームはそのような粒子が最低限に抑えられ、クリーン度が管理されている部屋です。
ミラプロ保有のクリーンルーム詳細についてはこちら。(設備紹介ページへ

高純度ガス用配管(EP管)

高純度のガス専用の類を移送するための配管で、電解研磨されて作られている。ミラプロで設計、製造され、主に半導体関連装置に用いられています。(→EP管

コンカレントエンジニアリング(Concurrent engineering)

各部署が共同して作業を行い、設計~製造までの業務を同時並行すること。ミラプロでは、開発初期の金型設計と製作を並行して行うことにより、製品開発期間をスピードアップさせています。

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さ行

残留ガス

真空度に影響を与え、真空状態を作ることを阻止する不純物、ガス。ミラプロでは残留ガスを分析するための装置を設計開発しました。

真空

「大気圧より低い圧力の気体で満たされた空間内の状態」(JIS(日本工業規格)定義より)つまり、通常より空気が薄い状態が真空状態です。

真空配管

(1)真空プロセスのガス、液体を運ぶ供給系配管、(2)チャンバー内を排気する排気系配管の2種類があります。(1)は内面に不純物が発生しないことが求められます。一方(2)はチャンバー内の排気、吸気に適した性能が求められます。

洗浄

真空プロセスに影響を及ぼさないように、機械油やほこりなどを取り除く方法。ミラプロでは、超音波洗浄、超純水洗浄などの真空洗浄を行っています。

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た行

耐腐食性

金属に化学変化をもたらす腐食が起こらない性質のことを表します。

チャンバー(Chamber)

仕切られた空間、容器という英語。真空チャンバーは、内部を真空状態にするための容器で、真空装置の一部として用いられています。

超高真空

JIS(日本工業規格)で定められた真空状態区分のひとつ。最も真空度が高い状態。

電解研磨

電解液に電気を流し、金属の表面を溶かして研磨効果を得ること。

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は行

フランジ(Flange)

管の端に取り付けられる金具。溶接ベローズ、成形ベローズの端に取り付けられています。

フレキシブルホース(Flexible hose)

フレキシブルチューブとも呼ばれています。柔軟さを利用して自由に曲げることにより、装置間を接続することができます。

プレス(Press)

金属板に荷重を作用させて変形させる工程。ベローズの製造工程にはプレス工程があり、プレス機で金属薄板を円形にくりぬき、波形をつける手法が用いられています。

ブレード(Blade)

細い線状のステンレスを編んで作られたもの。フレキシブルホースは耐圧性能を確保する目的で使われ、ブレードで覆うことによって伸びを防ぐことができます。

ベローズ(Bellows)

じゃばらを表す英語です。ミラプロでは金属ベローズを製造し、半導体製造装置などに用いられています。ベローズは一眼レフカメラの接写装置や洗濯機の排水ホースにも使われています。

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や行

溶接

「材料に応じて、接合部が連続性を持つように、熱又は圧力もしくはその両者を加え、さらに、必要があれば適当な溶加材を加えて、部材を接合する方法」です。(日本溶接協会定義より)つまり、金属を熱したり、レーザーを用いて、金属と金属を接合する方法です。

有限要素解析(FEM解析)

複雑な構造物や機械は、理論を用いて正確に設計することは困難です。そのため、飛行機の設計において開発されたのが有限要素法です。例えば、設計対象物を四角、三角に区切り、有限要素に区分して設計する方法で、今では多くの構造設計に用いられています。

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ら行

リーク(Leakage)

リークとは英語で漏れるという意味の言葉で、真空装置などから漏れが発生することを表します。リークが発生すると真空状態に影響を与えるため、ミラプロでは真空部品のリーク検査を実施しています。

ロール・ツー・ロール(Roll to Roll)

電子デバイスを効率良く量産する方法として知られています。基板をロール状に巻き、一気に回路パターンを連続して印刷できる方法。ミラプロはロール・ツー・ロールを取り入れたフィルム巻取システムを独自開発しました。

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英字

EP管

電解研磨処理されたステンレスパイプ。(電解研磨

CAD(Computer Aided Design)

装置などの設計を行うときに、コンピューターを用いること。コンピューター支援設計とも呼ばれています。

FEM解析(Finite Element Method)(有限要素解析

GBB(Glass Beads Blasting)

JIS(日本工業協会)では、GBBとは「小さい特殊なガラスビーズを、表面に清浄に又は硬くするために、金属表面に噴射させる処理。」だと定義されています。表面処理方法の一種で、真空チャンバーを研磨するために用いられています。

ISO9001

品質マネジメントシステムにおける要求事項、つまり品質管理の国際規格です。ミラプロは1999年8月に認証を取得しました。

KES

環境マネジメントシステムの規格です。ミラプロは、2008年に取得しました。

MP処理(Mechanical Polishing)

MPとはメカニカルポリッシングの略で、機械的に処理を行う研磨方法。

OEM(Original Equipment Manufacturer)

他社ブランド製品を製造することを指します。

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