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ホーム - 装置設計・製造(社内設備) - 大型クリーンルーム

大型クリーンルーム(社内設備)

本社工場

本社工場クリーンルーム
本社工場クリーンルーム
  No.1 No.2 No.3
ISO規格クリーン度
クラス7 クラス7(5) クラス7(5)
FED規格
(ブース内)
10,000 10,000 (100) 10,000 (100)
面積(m2) 553 720 540
搬出口サイズ
(高さ×幅:mm)
2,700 x 3,000 2,700 x 2,300 6,000 x 6,000
クレーン揚重(ton) 2.8 2.8 4.8 x 3
クレーン下 (m) 2.7 - 9.1

山梨工場

山梨工場クリーンルーム
山梨工場クリーンルーム
  No.1 No.2
ISO規格クリーン度 クラス7 クラス7
FED規格 10,000 10,000
面積(m2) 430 1,020
搬出口サイズ
(高さ×幅:mm)
3,000 x 3,000 6,000 x 6,000
クレーン揚重(ton) 2.8 2.8, 4.8, 10
クレーン下 (m) 3.5 9.1

若草第一工場・第二工場

若草第一工場クリーンルーム
若草第一・第二工場クリーンルーム
  第一工場 第二工場
ISO規格クリーン度 クラス7 クラス7
FED規格 10,000 10,000
面積(m2) 1,134 510
搬出口サイズ
(高さ×幅:mm)
6,000 x 6,000 4,000 x 4,000
クレーン揚重(ton) 10, 10, 4.8 2.8
クレーン下 (m) 9.1 4.2

第一工場でのクリーンルーム内エアキャスタ移動:20ton

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