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製品一覧

真空状態が必要とされるプロセスでは、真空容器や排気系ライン、さらには容器内へのガス供給ラインが必要とされています。

ミラプロでは、各部品の製造販売をはじめ、お客様のニーズに応じたガスラインの一括設計・製造をはじめ、装置や生産設備のレイアウトに基づいた一品一葉の配管類の受託製造も承っています。

真空装置向け部品

真空装置向け部品ラインナップ
溶接ベローズ 成形ベローズ 高純度ガス配管 フレキシブルホース 真空配管 真空配管部品
溶接ベローズ 成形ベローズ 高純度ガス用
配管
フレキシブル
ホース
真空配管 真空配管用部品

溶接ベローズ

ステンレスなどのの薄板材を組み合せて作られ、気密性、伸縮性および耐久性に富むことから、大きな作動が必要とされる機構部分に使用されます。

成形ベローズ

溶接ベローズに比べて伸縮性や作動に関する耐久性は溶接ベローズに譲るものの、製造コストが相対的に安価です。また波付けの形状に鋭角な部位が少ないことから、コーティングやメッキ処理などが必要なガスラインに採用されます。

高純度ガス配管

成膜プロセスなどで真空チャンバー内に高純度のプロセスガスを供給するための配管であり、ガスの純度や流れの確保やパーティクルの高度な抑制が求められます。一般的なパイプの溶接とは異なり、専用設備と熟練した製造・評価技術が必要とされます。

フレキシブルホース

装置間あるい装置への供給ラインに用いられます。機能としては配管と重複しますが、ステンレス材料でありながら曲げることができるので、現場での施工性に富んでいます。独自に確立している薄肉溶接技術により長尺ホースも提供できるほか、断熱材や保護ブレイドを施した製品のご要望にもお応えしています。

真空配管・真空配管用部品

真空プロセス用チャンバー内の真空状態を実現するための排気ライン向けの真空配管も提供しています。自社内に生産設計・機械加工・組立溶接技術者を配置し、複雑な形状であっても一貫した管理のもとで製品を実現しています。また、上海ミラプロを含めたアジア地域での調達ネットワークにより、安定した品質のリーズナブルな価格で提供しています。

また、電解研磨処理および各種コーティング(PTFE・PFA)なども施工可能です。

真空配管に用いるフランジやクランプ類なども弊社の標準ラインナップとしてご用意しています。型番をご指定いただくことで即納できる体制を整えているとともに、用途に応じた加工品のご要望にもお応えしています。

MiSUMi-VONAでの販売

弊社の真空配管部品は、ミラプロ真空配管部品@MiSUMi-VONAでも販売しています。

MiSUMi-VONA WEB Site