真空事業 | MPC

真空事業

真空技術は食品の製造にも用いられており、技術を精密化することで半導体製造や医療分野の技術に展開されています。ミラプロの真空コンポーネントは、精密な真空空間を作り出すのに不可欠な技術です。科学分析装置から大規模な製造装置まで、ミクロレベルの精密な真空コンポーネントで実現しています。

真空コンポーネンツミラプロ

主な製品

真空プロセス用機構部

溶接ベローズ

真空プロセスガス用配管システム

高純度ガス用配管

冷却用配管システム

冷却水・冷却媒体用配管

真空排気系配管システム

成形ベローズ　真空配管　フレキシブルホース　真空配管部品

科学技術分野向け真空コンポーネント

ピローシール　コンタクトフィンガー付き成形ベローズ

溶接ベローズ

溶接ベローズは、真空容器内で作動をさせながら気密性と清浄度とを両立させる機能部品です。
溶接部や応力集中部を内包し、さらには金属疲労への耐久性が求められる重要部品です。適切に評価することが製品保証につながる溶接ベローズには、設計・製造・評価が高レベルに融合できる技術が必要とされています。
ミラプロでは、最先端のFEM 解析理論と金属疲労評価試験に加え、自動YAG レーザーでの溶接品質の安定への取り組みを実施することで、寿命信頼性を実現しています。
また、製造工程のほとんどをクリーンエリア内で実施することで高い清浄度を確保しています。

成形ベローズ・真空配管・フレキシブルホース・真空配管部品

成形ベローズは、溶接ベローズに比べて伸縮性や作動耐久性は劣るものの、内部の表面研磨処理やコストパフォーマンスが良いことから、超高真空領域の科学技術分野から一般の真空装置まで幅広く活用されています。ミラプロでは独自の製造方法を確立し、長さやサイズの幅広いニーズに小ロットから対応しています。
また、真空装置からの真空排気系配管の設計製造をはじめ、現場での据え付けに欠かせない配管部品類をラインアップとして整え、お客様の真空空間の構築に貢献しています。

高純度ガス用配管の設計・製造

半導体の製造工程での成膜などには高純度ガスが使用され、ガス供給配管にも高い清浄度が要求されます。ミラプロでは、要求レベルを実現できるクリーンルーム内での一貫生産が可能な製造ラインを設置し、溶接技術者を多数配置することで、国内外の装置メーカーからの認定を受けています。

電子ビーム溶接

エネルギー密度の高い電子ビーム溶接装置を配置し、ステンレスをはじめ、アルミニウムやチタンなどの超高真空環境向けの溶接も行っています。