真空計

真空計は測定対象の中に配置されることで精度よく測定できる一方で、汚染源によっては測定精度が悪化することがあり、測定結果の過誤が発生。適切な判断や制御に影響を及ぼします。
汚染源は測定対象から発生する物質や、制御や測定のためのセンサーや配線等から発生するガスで、これが真空計に付着することによる汚染が精度を悪化させる原因です。
プラスチック表面の蒸着等では、プラスチック可塑剤等の蒸発による汚染。真空装置内の配線、モータ、シール材等からは、有機性汚染ガスの発生による汚染。半導体製造装置では、有機金属原料ガスの付着やレジストなどが残留し汚染源となります。
これらの汚染は重大な問題を引き起こします。
グリッドの汚染による問題としては、エミッション電力の増大による感度低下・エミッション停止・フィラメント切れなどが発生する恐れがあります。
また、コレクタの汚染による問題としては、真空計の感度が低下することで、真空がよくなったと勘違いされがちですが、実は汚染による感度低下である場合があり、フェイルセーフに働かないという問題が起きています。
ミラプロの真空計「タフゲージ」シリーズは、グリッドやコレクタを加熱しながら測定する「タフモード」により、問題の原因となる電極の汚染を低減します。


【グリッドの汚れ具合比較 オイルポンプ雰囲気中曝露試験】
※TG Viewer,TG Dispaly Viewer及びCADデータをご希望の場合は、
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複合真空計 タフゲージ

コールドカソードタフゲージＣＣＴＧ

コールドカソードタフゲージＣＣＴＧ（Cold Cathode Tough Gauge）はカソード電極を加熱することで、従来は対応できなかった電極汚染の防止、超高真空領域での安定放電を実現しました。
また、カソード材質にセラミックを採用したことにより、従来にはない耐腐食性を兼ね備えました。
今まで計れなかったハロゲンガス雰囲気の圧力を計測することができます。

用途

真空蒸着装置、エッチング装置、スパッタ装置、電子顕微鏡、イオン注入装置、質量分析装置、LPCVD装置、有機EL材料精製、加速器等