ユニット事業

ものづくりの装置は数千点から数万点に及ぶ部品で作られています。設計段階では、部品を組み合わせて確実に作動させるすり合わせ技術が結果を左右します。さらに装置製造では組み付けの精度を確保して最大限の装置性能の発揮が求められます。ミラプロでは装置設計から製造までの一貫生産で、ユーザーニーズに応えています。

装置の設計製造ミラプロ

ミラプロでは真空コンポーネント単独ではなく、納入先である装置メーカーとの連携によりODM（Original Design Manufacturing：委託先による装置設計・製造）も事業として展開しています。市場動向の変化が激しく装置開発からエンドユーザーへの提供までの期間が短くなっていることから、装置メーカーが技術マネジメントを行い、専門技術領域をサプライヤ側が行うことで、より早く確実な実現ができます。ミラプロでは装置の機構設計、電気設計、ソフトウェア設計にかかわる技術力があり、これらを融合させた装置提供を行っています。

主な実績

真空プロセス関連装置（半導体・液晶向け）

ロードロックチャンバー　トランスファーリングチャンバー　インクジェット機構　テストプロセス用チャンバーおよび制御機構　画像認識処理　ゲートバルブ　高温チャンバー水冷機構

真空プロセス関連装置の熱効率・熱消費向上

真空断熱二重構造

真空プロセス装置関連（搬送系）

ガラスサブストレート搬送機構　フィルム搬送機構

部品搬送・搬送制御

インデックス装置

真空プロセス装置関連

LED 製造チャンバー　焼成チャンバー

真空プロセス（ガス系）

ガスパネル

プロセス用電源

現地配管工事

真空配管系

科学技術分野向け装置・設計

核融合研向けアンテナ・ポート　KAGRA

チラーの設計・製造

チラーは冷却水循環装置と訳されますが、半導体製造や検査装置では高温環境での製造・検査もあり、温度制御の幅は年々広くなってきています。ミラプロのチラーの特徴は、温度制御誤差の少なさ、供給温度切り替えの速さ、フットプリント（占有面積）の小ささが挙げられます。半導体製造のプロセス温度は製品開発時に決定され、その温度を安定的に提供する必要があります。また、複数のプロセス温度を素早く切り替えられる機能は生産性に直結します。ミラプロのチラーはこのコンフリクトを解決しつつ、無駄のない設計によって小さなフットプリントであることをご評価いただいています。