진공사업 | MIRAPRO Co., Ltd.

진공사업

진공기술은 식품제조에도 응용되고 있으며, 기술을 정밀화하는 것으로 반도체제조나 의료분야에도 전개되고 있습니다. 미리프로의 진공컴포넌트는 정밀한 진공공간을 조성하는데 필수불가결한 기술입니다. 과학분석 장비에서 대규모 제조장비까지,미크로 레벨의 정밀한 진공콤퍼넌트로 실현하고 있습니다.

真空コンポーネンツミラプロ

주요 제품

진공프로세스용 구조부

용접 벨로우즈

진공프로세스 가스용 배관시스템

고순도가스용 배관

냉각용 배관시스템

냉각수・냉각매체용 배관

진공배기배관시스템

성형 벨로우즈, 진공 배관, 플렉시블 호스, 진공배관부품

과학기술분야용 진공컴포넌트

필로우 실, 컨택트 핑거내장 성형 벨로우즈

용접 벨로우즈

용접 벨로우즈는, 진공용기내에서 움직이면서 기밀성과 청정도를 양립시킨 기능성 부품입니다.
용접부와 응력 집중부를 커버하며, 거기에 더하여 금속 피로부에도 내구성이 요구되는 중요 부품입니다. 적절한 제품 평가가 제품 보증에 이어지는 용접 벨로우즈는 설계/제조/평가가 고차원적으로 융합할 수 있는 기술을 필요로 합니다.
미라프로에서는 최첨단의 유한 요소 해석, 금속 피로 평가, 자동 YAG 레이져등으로 용접 벨로우즈의 품질 균일화에 힘쓰고 있으며, 이로 인한 수명 신뢰성을 실현하고 있습니다.
또한, 대부분의 제조 공정을 크린 에리어에서 실시함으로 높은 청정도를 유지하고 있습니다.

성형 벨로우즈・진공배관・플레시블 호스・진공배관부품

성형 벨로우즈는 용접 벨로우즈와 비교할 때 신축성이나 동작 내구성은 떨어지지만, 내부의 표면 연마 처리나 코스트 퍼포먼스가 좋은 점과 초고진공 영역의 과학 기술 분야로부터 일반적인 진공 장비까지 폭넓게 사용되는 점등 많은 장점이 있습니다. 미라프로에선 독자적인 제조 방법을 확립하여 길이나 치수의 폭넓은 요구로부터 적은 롯트까지 대응합니다. 또한 진공장비부터 진공 배기계 배관의 설계 제조를 비롯하여 현장에서의 설치에 빼놓을 수없는 배관 부품 라인 업을 갖추어 놓으므로 커스토머의 진공 공간 설계및 구축에 공헌하고 있습니다.

고순도 가스용배관의 설계/제조

반도체의 제조 공정에선 고순도 가스가 사용되며,그 가스를 공급하는 배관에도 높은 청정도가 요구되고 있습니다.미라프로에서는 그 요구 레벨을 실현할 수있는 크린 룸에서의 일관 생산이 가능한 제조라인을 갖추고 있으며,용접 기술자를 다수 배치함으로 국내외 장비 메이커의 인정을 받고 있습니다.

전자 빔 용접

에너지 밀도가 높은 전자 빔 용접장비를 배치해서, 스테인레스를 비롯한 알루미늄, 티탄등 초고진공 환경용 용접도 대응하고 있습니다.