고순도 가스 배관

진공 프로세스를 활용하는 장치에 필수라고 말할 수 있는 고순도 가스공급은 반도체를 비롯해 IT기기 제조의 생명선으로 그 공급라인인 가스배관에는 고청정도가 요구 됩니다.

미라프로에서는, 고순도 가스배관 전용의 제조라인을 클린룸내에 설치해 재료단계에서 부터의 관리, 절단 및 용접공정에 있어서 파티클발생을 철저하게 억제하고 있습니다. 또 파이프내의 용접조건과 더불어 용접수법을 확립해 고객이 생산설비에 안심하고 사용할수 있도록 고순도가스용 배관을 제공하고 있습니다.

또, 배관류 뿐만 아니라 가스판넬 모듈 어셈블리에 대해서도 주문받고 있습니다.

문의　

고순도 가스배관 전용의 제조/검사라인

가스판넬의 설계・제조위탁 가능
클린도와 조명을 확보한 전용공정가스
순도를 확실히 하는 용접조건

특징과 장점

진공프로세스로의 1차 배관의 제조가 가능
클린룸내에서의 제조（전공정）
클린도: FED규격 클라스 1000（일부 100）
재질: SUS304, SUS316, SUS316L
표면처리: EP（전해연마）
사양사이즈 :1/4”, 3/8”, 1/2”