진공계

진공계는 측정대상중에 배치 되어서 고정도로 측정할수 있는 한편, 오염원에 따라서는 측정정도 가 악화하는 경우가 있어서 측정결과의 과오발생에 의해 적절한 판단이나 제어에 영향을 끼칩니다.
오염원으로서는, 측정대상에서 발생하는 물질, 제어나 측정을 위한 센서나 배선으로부터 발생하는 가스 등이 있으며 이것들이 진공계에 흡착함에따라 감지정도를 악화시키는 원인입니다.
플라스틱표면의 증착등에서는, 플라스틱가소제등의 증발에 의한 오염, 진공장치내의 배선, 모터, 실링재료등에서는 유기성가스 발생에 의한 오염, 반도체 제조장치에서는, 유기금속원료의 가스부착이나 레지스트등이 잔류해서 오염원이 됩니다.
이러한 것들의 오염은 중대한 문제를 불러 일으키며, 그리드의 오염에 의한 문제로는 에미션전력의 증대에 따르는 감도저하・에미션 정지・필라멘트 절단등이 발생하는 염려가 있습니다.
또, 콜렉터의 오염에 의한 문제로는 진공계의 감도가 저하 함에따라 진공상태가 좋아진 것처럼 보이지만, 실은, Fail Safe로 움직이지 않는 문제가 발생합니다.
미라프로의 진공계「탭게이지」는, 오염원이나 사용환경의 특성을 파악하여 측정정도를 실현하는 Line up을 갖추고 있습니다.

BA 전리 진공계 탭 게이지

ＢＡ전리 진공계 탭 게이지는그리드 및 콜렉트 전극을 통전가열해서 흡착성이 큰 가스를 제거하면서 계측하는 새로운 발상의 진공계 입니다. 【특허기술】
진공장치내의 오염원인 유기가스등의 분위기에서도 감도저하 없이 장기간 고정도로 측정 가능합니다. 멘터넌스의 번거로움과 시간을 덜고, 총소유비용 TCO（Total Cost of Ownership）을 절감 합니다.

복합 진공계 탭 게이지

복합 진공계 탭게이지는, ＢＡ전리 진공계와 피라니진공계를 조합한 복합형 진공계 입니다.
이것 하나로 대기에서 초고진공까지 폭넓은 범위를 자동적으로 스위칭하면서 계측가능 합니다.
피라니 진공계는 온도계를 내장하여 온도보정으로 온도변화에 따르는 오차를 저감 합나다.
또, 피라니 진공계에는 내부식성의 재료를 사용, 고진공에서는 ＢＡ전리 진공계와 같이 탭모드로 동작하기 때문에, 오염환경하 에서도 감도저하가 적고 장기간 고정도로 측정가능 합니다.

콜드 카소드 탭 게이지 ＣＣＴＧ

콜드 카소드 탭 게이지 ＣＣＴＧ（Cold Cathode Tough Gauge）는, 카소드전극을 가열함으로써, 종래에는 대응 할수 없었던 전극오염의 방지, 초고진공 영역에서의 안정방전을 실현 했습니다. 또, 카소드 재질에 세라믹을 채용함으로써 종래에는 없는 내부식성을 겸하도록 했습니다.
지금까지 측정할수 없었던 할로겐가스 분위기하의 압력을 계측할수 있게 되었습니다.

용도

진공증착 장치, 에칭 장치, 스퍼터 장치, 전자 현미경, 이온주입 장치, 질량분석 장치, LPCVD 장치, 유기EL 재료정제, 가속기 등.