진공배관
진공 프로세스에 의한 반도체등의 제조공정에서는 프로세스의 실현에 필요한 고순도 가스 공급라인 이나 고도의 진공환경을 만들어 내는 진공배기 배관이 필요 합니다.
진공배관은 대부분 스테인레스 배관 입니다만, 공장 레이아웃 이나 제조장치의 컴팩트화의 요망으로 최적의 가스흐름 라인을 실현하는 배관기술이 요구 되어지고 있습니다.
미라프로에서는, 진공규격품의 판매에 더해 성형 밸로우즈나 용접 밸로우즈를 포함한 진공배관도 제조하고 있습니다.
또, 크램프에 의한 파이프 접합을 저감한 분기관 이나 긴 배관, 대/소구경의 접합등의 여러 요망에 응해서 사내에서의 기계가공 과 용접공정에 의해 신속한 제조 및 납입체제를 구축하고 있습니다.
진공배관은 대부분 스테인레스 배관 입니다만, 공장 레이아웃 이나 제조장치의 컴팩트화의 요망으로 최적의 가스흐름 라인을 실현하는 배관기술이 요구 되어지고 있습니다.
미라프로에서는, 진공규격품의 판매에 더해 성형 밸로우즈나 용접 밸로우즈를 포함한 진공배관도 제조하고 있습니다.
또, 크램프에 의한 파이프 접합을 저감한 분기관 이나 긴 배관, 대/소구경의 접합등의 여러 요망에 응해서 사내에서의 기계가공 과 용접공정에 의해 신속한 제조 및 납입체제를 구축하고 있습니다.
실적
500,000본 이상의 제조실적
용접 벨로우즈・성형 벨로우즈를 포함한 진공배관을 제조가능
수냉자켓・수냉 이중관 구조도 제공가능
품질
품질 및 공정개선의 사내 프로그램
용접
TIG용접
용접재
SUS304, SUS304L, SUS316, SUS316L
하스텔로이 C-22
티탄(1종・2종)
알루미늄(A5000계, A6000계)
생산관련 기술
CAD에 의한설계
유한요소해석
자동용접 시스템
마이크로스콤
시험설비
리크시험
표면처리
GBB처리
Buff연마
아르마이트 처리
※각종요망에 의해서 표면처리를 하고 있습니다.