고정도 칠러

칠러는 냉각수 순환장치라고 말합니다만, 반도체 제조나 검사장치에서는 고온환경에서의 제조・검사도 있으며, 온도제어의 폭은 점점 넓어지고 있습니다.
반도체 제조의 프로세스온도는 제품개발시에 결정되며, 그 온도를 안정적으로 제공할 필요가 있습니다.
또, 복수의 프로세스온도를 빠르게 스위칭하는 기능은 생산성에 직결 됩니다.
미라프로의 칠러는 이러한 상반성을 해결하며, 합리적 설계에 의한 고성능의 제품실현으로 세계에서도 탑클라스의 평가를 받고 있습니다.
미라프로는, 국내외의 반도체 제조 메이커의 기술을 가능케하는 세계굴지의 칠러 메이커 이기도 합니다.

시장이나 고객의 모든 수요에 대응하기 위해서 다양한 타입의 칠러를 생산하고 있습니다.
세계각국의 반도체 제조장치 메이커에도 칠러를 출하해, 제조・보수업무도 청부받고 있습니다.

반도체업계를 중심으로 활약하는 미라프로제 칠러

미라프로는 시장이나 고객의 모든 수요에 대응하기 위해서 극저온（-70℃）에서 극고온도（+145℃）까지 큰 폭의 온도제어가 가능하고, 저온과 고온의 스위칭기능을 탑재한 하이스펙 칠러를 생산하고 있습니다. 게다가, 반도체제조의 빌드인타입, 세계최소 클라스의 컴팩사이즈의 칠러는, 미국의 반도체시장에 약1000 대의 가동실적이 있으며, 많은 고객으로 부터 지지를 받고 있습니다.

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