高純度ガス配管

真空プロセスを活用する装置で必須ともいえる高純度ガス供給は、半導体をはじめとするIT機器の製造の生命線であり、その供給ラインであるガス配管にも高い清浄度が求められます。

ミラプロでは、高純度ガス配管専用の製造ラインをクリーンルーム内に設け、材料段階からの管理に加え、切断および溶接工程におけるパーティクル発生を徹底的に抑制しています。また、パイプ内の溶接条件とともに検査手法を確立し、生産設備に安心してお使いいただける高純度ガス用配管を提供しています。

また、配管類のみではなく、ガスパネルモジュールAssyについても承っています。

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高純度ガス配管専用の製造・検査ライン

ガスパネルの設計・製造受託可
クリーン度と照度を確保した専用工程
ガス純度を確実にする溶接条件

特長

真空プロセスへの一次系配管の製造が可能
クリーンルーム内での製造（全工程）
クリーン度: FED規格 クラス 1000（一部 100）
材質: SUS304, SUS316, SUS316L
表面処理: EP（電解研磨）仕様
サイズ :1/4”, 3/8”, 1/2”

※清浄度、外観およびパーティクルについてご要望がありましたら、別途お答えいたしますのでお問い合わせください。