ミラプロ

真空配管

真空配管 ミラプロ 真空プロセス

真空配管 ミラプロ ステンレス配管

真空プロセスによる半導体などの製造工程では、プロセスの実現に必要となる高純度ガス供給ラインや高度な真空環境を作りだす真空排気配管が必要です。
真空配管の多くはステンレス配管ですが、工場レイアウトや製造装置のコンパクト化の要望から最適なガスフローラインを実現する配管技術が求められています。
ミラプロでは、真空規格品の販売に加え、成形ベローズや溶接ベローズを含む真空配管も製造しています。また、クランプによるパイプ接合を低減した分岐管や長尺配管、大小口径の接合などのさまざまなご要望に対して、社内での機械加工や溶接工程により、迅速な製造・納入体制を構築しています。

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実績

500,000本以上の製造実績
溶接ベローズ・成形ベローズを含む真空配管を製造可能
水冷ジャケット・水冷二重管構造も提供可能

品質

品質および工程改善の社内プログラム

溶接

TIG溶接

溶接

SUS304, SUS304L, SUS316, SUS316L
ハステロイC-22
チタン（1種・2種）
アルミニウム（A5000系, A6000系）

生産関連技術

CADによる設計
有限要素解析
自動溶接システム
マイクロスコープ
試験設備
リーク試験

表面処理

GBB処理
バフ研磨
アルマイト処理
※各種、ご要望に応じた表面処理を行います。

※清浄度、外観およびパーティクルについてご要望がありましたら、別途お答えいたしますのでお問い合わせください。

MiSUMi-VONAでの販売

弊社の真空配管部品は、ミラプロ真空配管部品＠MiSUMi-VONAでも販売しています。

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ミラプロ MPC

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