真空断熱技術

最近では、真空断熱ボトルの市販もあり、真空断熱技術はとても身近な技術となり、幅広い分野で活用されるようになっています。
しかし、最先端技術を必要とする半導体製造装置向けとして、真空断熱技術が採用された例はこれまでほとんどありませんでした。
その理由は、断熱精度だけではなく高いクリーン度と安定品質、使用寿命を明確に示すことなどの厳しい“保証” が求められたためです。
近年半導体製品の高度化と需要増加に伴い、生産性や製品の仕様によって高度な熱制御が求められることが増え、新しい断熱機能が求められています。
ミラプロでは、長年にわたる基礎データ収集と製造ノウハウの蓄積を行うと同時に、自社での評価試験では、実機に近い伝熱特性を把握することにより、仕様検討段階での予測精度を高め、お客様での装置開発期間の短縮にも貢献しています。
これにより、装置メーカの厳しい要望にもこたえられる設計と製品作りを可能にしています。